技術內容
一種鋁金屬薄膜製備、鋁導線蝕刻製程及蝕刻殘餘物清潔能力。
廠商資格
1. 產業類別:學術研究機構
2. 應具備之專門技術:超導量子位元晶片之實作與量測經驗
3. 應有研究或技術人員:元件微影蝕刻製程技術人員
4. 無片面毀約不良紀錄
申請辦法
有意願之廠商需填妥本院「廠商開發計畫書」與「研發成果授權申請表」,資料請洽聯絡窗口。
聯絡窗口
張小姐 03-5773693 ext.7534 wcchang@narlabs.org.tw
蔡小姐 02-66300614 chtsai@narlabs.org.tw