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單一非球面共同光學元件曝光機鏡組(中華民國 I550364、美國 US 9,618,734 B2)

發明人:黃君偉、曾釋鋒、葉哲良

類型:發明

國別:中華民國

專利證書號:I550364

證書日期:2016/09/21

專利權期限:2035/04/23

國別:美國

專利證書號:US 9,618,734 B2

證書日期:2017/04/11

專利權期限:2035/06/16

簡介:
一種單一非球面共同光學元件曝光機鏡組,係包括:一共同光學元件組,包含依序排列之第一至第三透鏡;一球面反射鏡,係配置於該第三透鏡下方;以及一平面反射鏡組,包含第一及第二平面反射鏡,分別斜置於該第一透鏡上方;如此,藉上述各光學鏡組擺置形成等倍率之曝光機鏡組,俾使一物件上之圖案經過各光學鏡組聚焦後將其映射在一感光面上。藉此,本發明採用單一非球面及疊合式組裝,以單一非球面之三片透鏡及一球面反射鏡與二片平面反射鏡疊合式組成,及二種光學材料相互擺置完成之等倍率之單一非球面共同光學元件曝光機鏡組,由於光行進各光學鏡組間,僅有一單一非球面光軸,因而可使得光學系統調校因子簡單,進而使曝光鏡頭之功能更易達到,並可直接影響製造成本,具有元件數少、光件易製、校正簡單、抗色差、優化數值口徑比及成本低之功效。

聯絡人:蔡智華 02-66300614

0301012@narlabs.org.tw