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恩萊特科技贊助國研院半導體中心 微機電軟體之開發平台

半導體產業不僅是臺灣的護國神山,也是支撐全球數位經濟發展的基石。政府為維持並擴大半導體供應鏈優勢,不僅鬆綁法規,並用各種方式提升產業群聚效應,持續支持半導體產業發展需求。其中科技部負責加強堆動產學研合作,培育研究人才,轄下法人國家實驗研究院台灣半導體研究中心(國研院半導體中心)執行科技部政策,為協助台灣半導體產業發展及扎根學術研究,促成全球三大EDA廠之一西門子(Siemens EDA)在台灣的正式授權代理商-恩萊特科技,贊助總價值超過500萬美元之「微機電開發平台」(包括MEMSProOnScale)予國研院半導體中心。

臺灣是全世界半導體晶片設計第二大國,而電子設計自動化(EDA)軟體是晶片設計發展中的重要環節,能在設計、製造甚至是應用端達到最快的優化,並充分發揮技術極限,縮短所設計之晶片進入市場的時程。

一般市售微機電開發軟體由於是各自獨立開發,在不同階段的整合上會有落差。透過恩萊特科技公司贊助之「微機電開發平台」,從平面設計,到製程參數模擬實際製程結果,再到分析物理特性上,經過完善的整合,可協助使用者提高設計效率並降低錯誤動作。

「微機電開發平台」的軟體MEMSPro中,藉由西門子提供用戶二維繪圖軟體SIEMEMS EDA/Tanner L-Edit MEMS,可設計出複雜幾何形狀的微機電元件;再經由此平台另一軟體Soft-MEMS將業界生產的實際製程步驟及參數帶入,可以模擬生成三維元件;最後利用OnScale軟體的雲端超級運算能力進行求解,即可取得其他有限元素分析軟體無法即時運算出的大型精確模型。

此平台流程已經被廣泛應用在全球最先進的5G濾波器及各種高階微機電傳感器的開發,接軌國際標準生產製造趨勢,可協助國內學界優秀的研究成果在模擬推演下,轉譯為業界的生產技術,供業界商品化參考;更重要的是,Siemens EDA微機電開發平台讓國內碩博士生在論文研究階段即可使用與業界技術開發相同的軟體環境,降低學用落差。

此次恩萊特科技與國研院半導體中心的合作,囊括軟體提供、教學與生態體系的建立,期待透過共同提升學術研究能量並建構尖端技術實作環境,加速台灣新世代半導體領域的技術發展,推動產業持續創新。