技術內容

一種鋁金屬薄膜製備、鋁導線蝕刻製程及蝕刻殘餘物清潔能力。

廠商資格

1. 產業類別：學術研究機構

2. 應具備之專門技術：超導量子位元晶片之實作與量測經驗

3. 應有研究或技術人員：元件微影蝕刻製程技術人員

4. 無片面毀約不良紀錄

申請辦法

有意願之廠商需填妥本院「廠商開發計畫書」與「研發成果授權申請表」，資料請洽聯絡窗口。

聯絡窗口

張小姐 03-5773693 ext.7534　wcchang@narlabs.org.tw
蔡小姐 02-66300614　chtsai@narlabs.org.tw