Page 22 - 國研院年報2018

VOL 2018 | 17 研發與服務成果 〔國家奈米元件實驗室〕
5 奈米以下元件 技術探索與驗證技 術開發
奈米元件實驗室與交通大學及成功大學團隊合 作，探討5nm鐵電閘極堆疊電晶體，以及其受 環境應力與尺度效應行為之間的關聯。此項開 發由奈米元件實驗室主導，是世界上首次展示 鐵電超薄2nm-HfZrOx閘極堆疊與介面應力分 佈，而且也是首次以表面科學方法探討鐵電IL層 的應力分佈，研究成果發表於美國夏威夷舉行的 「2018全球超大型積體電路技術及電路國際會
( 圖 / / 2 奈米 奈米 /7 奈米鐵電閘極電晶體元件之電性特性 )
提供可攜帶式電子產品和物聯 網等低耗能元件的應用需求
議」(2018 VLSI)。本研究相當適合未來3奈米 技術的發展，以及可攜帶式電子產品和物聯網 (Internet of Things IoT)等低耗能元件的應用 需求。
〔國家奈米元件實驗室〕
抗生素藥敏檢測 晶片開發
醫研合作的最佳範例
奈米元件實驗室與臺中榮民總醫院(簡稱臺中榮 總)合作，利用光電整合晶片科技，開發出「抗 生素藥敏檢測晶片」，透過晶片快速辨別細菌種 類，讓總檢測時間縮短至51小時，比現有醫檢技 術節省下2天的時間，對於搶救病人有突破性的 助益。
( 圖 / 奈米元件實驗室與臺中榮總於 2018 年 9 月 4 日聯合舉行「醫 研合作開發『抗生素藥敏檢測晶片』記者會」研究成果發表 )