Page 23 - 國研院年報2018

VOL 2018 | 18 18 研發與服務成果 〔國家奈米元件實驗室·國家晶片系統設計中心〕
奈米晶片中心臺南基地動土
深耕及擴大南北產學研鏈結
為強化跨域科學融合，提升臺灣奈米技術 研發與能量，奈米元件實驗室、晶片中心 與成功大學共同建置「奈米晶片中心臺南 基地」，雙方依各自優勢整合資源，投入 半導體及奈米材料、生技醫材等領域的技 術開發與應用，藉以培育產學所需高階人 才，深耕及擴大南北產學研鏈結，引導臺 灣經濟驅動新模式。
( ( 圖 / 「奈米晶片中心臺南基地」動土典禮，由成功大學蘇慧貞校長(左)與 國研院王永和院長(右)及其他貴賓一起動土 )
)
〔國家奈米元件實驗室〕
先進積層型三維積體
電路整合技術開發
為提升「積層型三維積體電 路整合技術」(Monolithic 3D IC)的電路特性，奈米元 件實驗室開發出可以控制晶 粒成長的雷射結晶技術，並 將所開發的鰭式電晶體用於 單顆矽晶粒上，以抑制「多 晶矽顆粒的晶粒介面」(Po- ly-Si Grain Boundary)所 造成元件電性上的變異。目 前藉由不同底部蝕刻圖案及 相對應的雷射製程，已完成 可控制晶粒成長的三維可堆
疊矽通道製作，後續將以此 技術與交通大學共同合作製 作單晶粒高品質的鰭式電晶 體及相關應用電路，未來有 機會大幅提升積層型三維積 體電路商業化的可行性。 此外，以積層型三維積體電 路整合技術與清華大學張孟 凡教授、美國賓州大學Vi- jaykrishnan教授共同合作， 開發具有儲存及運算功能的 記憶體內運算SRAM電路。 結合負電容元件及電路製造
技術整合超低耗能的內運算 記憶體，可以同時在元件及 電路端有效抑制元件開關及 導線端能量傳輸的損耗，成 果二項研究發表於「2018國 際電子元件會議」(IEDM)， 此項研究可應用於智慧物聯 網晶片的開發及人工智慧。