寬頻振動感測器安裝於智慧機械人手臂實品照片 國家實驗研究院台灣半導體研究中心(TSRI)以半導體製程與異質封裝技術完成輕量化的寬頻振動感測器，無需深蝕刻及側向掏空手段，且具有易於與其支援電路整合優勢。
感測器能偵測20 Hz – 1MHz的振動，且擁有無外加電源下操作的能力，可應用於即時偵測自動化生產設備狀態，為降低及消除設備因機械故障停機所產生的重大成本耗損，同時紀錄設備損耗與故障周期性，收集至資料庫分析，有助於研究設備可靠度與失效模式，更有效率地編排設備維護排程，達到可預期風險控管。
除此之外，未來也可應用在穿戴式生醫感測裝置、智能機器人、居家照護等日常生活中，感測異常狀態，收集資訊，維護生命安全。寬頻振動感測器曾於2018年第二屆未來科技展Future Tech獲得人氣技術獎。
——技術細節——
核心技術
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技術特點
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驗證與推廣
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- 於2018年第二屆未來科技展Future Tech獲得人氣技術獎。
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感測器應用
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自動化生產設備即時狀態監控，為降低及消除設備因機械故障停機所產生的重大成本耗損，有效紀錄設備損耗與故障周期性，收集至資料庫分析，研究設備可靠度與失效模式，更有效率地編排設備維護排程，達到可預期風險控管。除此之外，未來也可應用在穿戴式生醫感測裝置、智能機器人、居家照護等日常生活中，感測異常狀態，收集資訊，維護生命安全。
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