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銀、鍺、太陽能 共構新世代高效綠能奈米元件晶片

國家實驗研究院奈米元件實驗室研發銀、鍺、太陽能奈米元件技術 (點圖可放大)。國家實驗研究院奈米元件實驗室研發銀、鍺、太陽能奈米元件技術 (點圖可放大)。

著眼於更前瞻的10奈米元件技術,新材料和節能科技的導入,將是未來提升效能和晶片微小化的關鍵。國家實驗研究院奈米中心於美國華盛頓舉行的IEDM國際會議中發表四篇論文成果,其中鍺電晶體和矽基太陽能自供電力線路模組均獲選為重點宣傳論文。

相較於矽,純鍺材料的電晶體運行速度可提升2至4倍。此次發表之「三角型鍺鰭式電晶體」技術可實現高速的10奈米電晶體元件;「銀金屬直立導線技術」則突破傳統鎢金屬栓塞結構在尺寸微縮時的製程瓶頸,將可符合10奈米世代的金屬導線製程需求。此外,奈米中心結合獨創銅銦鎵硒薄膜電晶體技術,開發具高應用性之「自供電力線路模組的矽基太陽能元件」,可緊密與半導體產業與技術結合,為我國邁向10奈米元件技術世代開創先機。