漢辰科技捐市價 1 億元機台予NDL

【經濟日報╱記者李珣瑛 即時報導】為促進半導體產業進步、提升研發能量，漢辰科技(AIBT)，19日由漢辰科技董事長黃民奇代表捐贈先進半導體製程機台「高電流離子植入機」予國研院國家奈米元件實驗室(NDL)，由實驗室主任楊富量代表接受。

漢辰科技董事長黃民奇表示，捐贈先進半導體製程機台予國研院奈米中心，以設備為平台提供國內更多產學界先進使用，強化半導體人才養成的動能、獲取良好的研發成果；除了捐贈機台外，更期待藉著國研院奈米中心的技術優勢，進一步合作，促成先進製程的研發，共同為離子植入技術擦出新的火花。

NDL主任楊富量指出，這部市價超過1億元的機台，堪稱是目前本土儀器廠商所完成的最貴重機台。該機台在兩年前就已打入台積電32奈米製程的供應鏈，目前也與台積電合力投入22奈米的製程研發。其他國際大廠，例如Global Foundries也欲將其導入40奈米的製程中。

楊富量說，這部淺接面高電流離子植入機是先進半導體元件製程裡不可或缺的機台，台灣沒有一個學校或研究單位買得起這種機台，全世界的研究單位大概也只有美、日、歐盟各有一台。

我認為，學術和前瞻研究的最大價值就在於無中生有，而無中生有的本益比才是最高的，因為分母是零。舉個例子，我們NDL在上個月剛剛發表全球第一個16奈米元件技術，我們從這個先期研究中，當然就會先看到問題，也會先去想解決方法，希望這些先期研究的寶貴經驗，可以提供給漢民和漢辰科技。

【2010/01/19 經濟日報】@ http://udn.com/