技術分類
半導體製程、電漿輔助原子層沉積技術

技術內容
高覆蓋性原子層沉積技術
封閉式流道反應槽系統及其製造觸媒或支撐材料的方法

廠商資格
1.產業類別：電力機械器材製造修配業、一般儀器製造業、自動控制設備工程業、表面處理業、電線及電纜製造業、電子零組件製造業
2.專門技術：航太等級線束客製化加工組裝、半導體PVD、CVD製程相關設備、機電整合設計等設備製造、機電整合與半導體製程相關技術能力
3.應有機具設備：半導體製程相關設備
4.應有研究或技術人員：5人以上
5.無片面毀約不良記錄者

申請辦法
申請技術移轉廠商應檢附公司相關證明文件影本，填妥本院「廠商開發計畫書」與「研發成果授權申請表」，資料請洽聯絡窗口。公司證明文件應包括：
一、公司基本登記資料或公司登記事項卡。 
二、營業稅或營利事業所得稅最近一期之繳款收據聯。

聯絡窗口
李靜宜小姐 03-5779911 ext. 532   gigilee@narlabs.org.tw
呂佳㯣小姐02-66300626          cflu@narlabs.org.tw
如果您有研發成果技轉、運用或利益衝突等相關問題或建議，歡迎您寫Email至： tiri-service@narlabs.org.tw