矽質奈米柱陣列

國研院儀科中心奈微米加工製作廠研發團隊—黃茂榕、林峻霆、張峻銘、湯喻翔與蕭銘華同仁，以及國立臺灣師範大學機電科技學系楊啟榮教授、國立清華大學研究生陳世佳先生，共同參加由中華民國微系統暨奈米科技協會舉辦之第十四屆奈米工程暨微系統技術研討會，以「觸媒蝕刻技術應用於矽質奈米柱陣列之研製」一文榮獲「奈米工程組」最佳論文獎。

儀科中心團隊獲2010奈米工程研討會最佳論文獎

「觸媒蝕刻技術應用於矽質奈米柱陣列之研製」主要是利用觸媒蝕刻技術搭配聚苯乙烯微影技術，製作高深寬比矽質奈米柱陣列結構，製程具有簡單、省時、低成本之優勢。此外，藉由奈米陣列高比表面積之特性，於結構表面沉積白金觸媒，更可作為燃料電池之應用。

奈米工程暨微系統技術研討會，今年將舉辦第14屆年會，研討會匯集了國內從事奈微米科技的學者專家與研究人員，討論目前奈微米結構製程技術與研究應用上的最新發展現況以及未來發展趨勢。本屆研討會論文依學門領域可劃分為「奈米工程」、「生醫微流體」、「微致動與傳感器」與「微系統設計、製造封裝與材料技術」等四項主題。國研院儀科中心共計投稿6篇，主題遍佈製作技術、檢測技術與綠色能源應用等領域。

國研院儀科中心為我國重要之儀器開發研究單位，近年來為因應國家科學發展與產業昇級，積極投入微奈米機電之研究領域，致力於系統微小化以及微型儀器開發等研究。儀科中心之奈微米加工製作廠，不僅擁有先進的製程設備與充足的製作能力，對於微型檢測儀器、先進關鍵零組件之開發及支援外部單位之委託研究，更具備強而有力的競爭優勢。